表面潔凈度測試儀 參數說明表面潔凈度測試儀 參數說明
一、 儀器介紹
概述：
表面潔凈度測試儀采接觸式，量測物體表面的粒子數量的設備。半導體，面板廠，設備商與所有清潔部件廠商，驗證部件表面是否干凈的檢驗標準工具，人的肉眼很難看清直徑在100微米以下的粒子，這些粒子會快速沉降，逃避常規的空氣檢測從而聚集在關鍵表面或產品上，從而減少產品的良率及降低產品的穩定性。
執行標準：
ISO14644-9：2022《潔凈室和相關的受控環境第9部分：顆粒濃度表面清潔度的評估》
二、 儀器參數
技術參數：
控制系統：PLC
操作界面：7寸觸摸屏
流量：28.3L/min+5%內置流量傳感器，流量自動閉環控制
光源：進口激光二極管
測試粒徑：0.1、0.15、0.2、0.25、0.3、0.5、0.7、1.0、3.0、5.0um（可根據客戶需求定制，最多八個通道）
最大飽和濃度：2000000/ft3（5%）
自凈時間：≤10min
測量次數：0-99次周期：0-99999秒測量間：0-9999秒時時間：0-9999秒
潔凈度等級：1~9級
采樣頭規格：φ36.5
數據單位：m3、ft3
SCP等級：1級-8級
表面類型：圓形、方形
表面探頭：φ12.7mm、φ20mm、φ30mm、φ50mm、φ70mm
數據單位：m2、ft2、in2、cm2、mm2
根據探頭的形狀（如：圓形輸入直徑、方形輸入長寬尺寸），自動計算出表面積。
打印功能：熱敏打印機
數據儲存：可儲存100000組數據
重量：15kg
外形尺寸：300*400*450mm
電源：AC220V50Hz150W（可選帶鋰電池組）
基本配置
主機一臺
說明書1份
合格證1份
簽收單1份
電源線1份
扳手1套
保修卡一個
銘牌一個
